박막 소재
나노미터 단위의 박막, LT메탈의 소재 기술로 완성됩니다.
소재의 특성이 디스플레이의 성능을 가릅니다.
LT메탈은 그 정밀함을
매일 한 단계씩 높여갑니다.
박막 소재는 스퍼터링(Sputtering) 또는 증착(Evaporation) 공정을 통해 수 나노미터에서 수 마이크로미터 두께의 기능성 금속층을 형성하는 데 사용됩니다.
타겟 소재의 순도, 밀도, 결정 구조, 조성 균일성이 박막의 전기적·광학적 특성에 직접적인 영향을 미칩니다. 반도체, 디스플레이, 태양전지, 의료기기 등 다양한 첨단 산업에서 박막 소재의 품질은 제품 성능과 제조 안정성을 결정하는 핵심 요소입니다.
LT메탈은 ITO Target을 자체 분말 제조 기술로 국산화를 실현한 기업이며, 다년 간 쌓아온 금속합금 기술을 기반으로 세라믹 타겟 및 금속타겟의 일관된 품질과 안정적인 성능을 구현하고 있습니다.
공정 선택 가이드
스퍼터링 vs. 증착 — 공정별 최적 소재
| 공정 방식 | 적합 조건 | LT메탈 공급 소재 | 주요 응용 |
|---|---|---|---|
| 스퍼터링 (Sputtering) | 대면적 균일 박막·고밀착력 | 세라믹 타겟, 고순도 금속/귀금속 타겟, 하이브리드 타겟 | FPD, 반도체 배선, OLED 반사막 |
| 증착 (Evaporation) | 고순도, 저 산소 함량 | 고순도, 저산소 함량 Ag Disk, Pellet, Granule | OLED 패널, 연구 개발용 |
스퍼터링 타겟
| 제품군 | 제품 | 순도 | 조성 | 적용분야 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 디스플레이 | Ceramic
(Planar, Rotary) |
ITO | 4N 이상 | 1/3/5/7/10% SnO2 (기타 조성 별도문의) |
투명전극, 태양광 외 |
| IGZO | 4N 이상 | 1:1:1 (기타 조성 별도문의) |
TFT 반도체 | ||
| IZO | 4N 이상 | 10% (기타 조성 별도문의) |
투명전극, 태양광 외 | ||
| ITZO | 4N 이상 | 별도문의 | TFT 반도체 | ||
| Mo Oxide계 | 3N5 이상 | 별도문의 | 저반사 | ||
| Metal
(Planar, Rotary) |
Ag | 4N5 이상 | Pure & Alloy | Anode 외 | |
| Cu | 4N5 이상 | Pure | 전극배선 | ||
| Mo | 3N5 이상 | Pure & Alloy | 전극배선 | ||
| Al | 4N 이상 | Pure & Alloy | 전극배선 | ||
| Ti | 3N5 이상 | Pure & Alloy | 전극배선 | ||
| Cr | 4N 이상 | Pure & Alloy | Photo mask | ||
| Hybrid
(Ceramic+Metal) |
WOX | 4N 이상 | 별도문의 | 저반사 | |
| 반도체 | Metal
(Planar, Rotary) |
Ta | 4N5 이상 | Pure | 확산방지막 |
| CuMn | 6N 이상 | 별도문의 | 반도체 배선 | ||
| Au | 4N5 이상 | Pure | Bumping | ||
| Cu | 4N5 이상 | Pure | EMI-Shield | ||
| SUS | 3N 이상 | SUS304L, SUS316L | EMI-Shield | ||
| Ni | 3N5 이상 | Pure | 후공정 | ||
| Metal | Pt | 4N 이상 | Pure | 웨이퍼 증착 |
증착
| 제품군 | 제품 | 순도 | 조성 | 적용분야 | |
| 증착재 | Ag | Disk | 4N 이상 | Pure Ag | 대형 OLED 패널 |
| Granule | 4N 이상 | Pure Ag | 중소형 OLED 패널 | ||
| Pellet | 4N 이상 | Pure Ag | 소형 OLED 패널 | ||
| Pt | Pellet | 3N5, 4N상 | Pure Pt | 전극 배선 |
제품 구성
반도체용 스퍼터링 타겟
Ta·CuMn(확산방지막), Cu·SUS(EMI-Shield), Au·Ni(Bumping)타겟을 공급합니다.
디스플레이용 스퍼터링 타겟
ITO·IGZO(FPD·터치패널·태양전지), ITZO·IGZO(OLED·산화물 TFT), 금속(배선), Ag 합금(OLED 반사막), Mo/W계(저반사) 타겟을 공급합니다.
증착용 소재
Ag 원형 Disk, Ag Granule형태, Ag Pellet 및 Pt Pellet을 공급 합니다.
왜 LT메탈인가
세 가지 설계 역량
LT메탈이 글로벌 고객에게 선택받는 이유는 조성, 구조, 신뢰에 대한 설계 역량을 바탕으로 고객이 요구하는 성능과 품질을 구현할 수 있기 때문입니다.
이것이 LT메탈의 핵심 경쟁력입니다.
조성을 설계합니다
타겟 소재의 합금 조성과 불순물 수준이 박막의 전기적·광학적 특성을 직접 결정합니다. LT메탈은 고객의 증착 공정 조건(온도, 압력, 전력 밀도)을 분석하여 최적의 조성을 갖춘 타겟 소재를 설계합니다.
구조를 설계합니다
ITO Target을 포함한 기능성 타겟 소재의 분말을 자체 합성하는 원천 기술로, 입도 분포, 산소 함량, 소결 밀도를 처음부터 설계합니다. 파티클 발생과 이상 방전이 없는 타겟 구조를 보장합니다.
신뢰를 설계합니다
소재 공급에 그치지 않고 고객의 증착 공정에서 최적 성능이 발휘되도록 공정 조건 협의, 시제품 평가, 문제 발생 시 원인 분석까지 신뢰성 지원 체계를 설계합니다.
